30岁少妇一摸就出水,国产伦精品一区二区三区,白洁性荡生活第90章,他跨越山海而来电视剧免费观看

當(dāng)前位置:首頁  >  新聞資訊  >  有關(guān)掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)的對準(zhǔn)系統(tǒng),以下有詳細(xì)說明

有關(guān)掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)的對準(zhǔn)系統(tǒng),以下有詳細(xì)說明

更新時(shí)間:2020-12-16  |  點(diǎn)擊率:1845
  掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)又名光刻機(jī),用光來制作一個(gè)圖形工藝,將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過程將器件或電路結(jié)構(gòu)臨時(shí)復(fù)制到硅片上的過程。半導(dǎo)體制造過程中復(fù)雜也是難的步驟就是光刻,光刻機(jī)也因此成為重要的半導(dǎo)體制造設(shè)備,研發(fā)的技術(shù)門檻和資金門檻非常高,是復(fù)雜的機(jī)器之一。
 
  掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)一般根據(jù)操作的簡便性分為三種,手動、半自動、全自動
  1、手動:指的是對準(zhǔn)的調(diào)節(jié)方式,是通過手調(diào)旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita角度來完成對準(zhǔn),對準(zhǔn)精度可想而知不高了;
  2、半自動:指的是對準(zhǔn)可以通過電動軸根據(jù)CCD的進(jìn)行定位調(diào)諧;
  3、自動: 指的是 從基板的上載下載,曝光時(shí)長和循環(huán)都是通過程序控制,自動光刻機(jī)主要是滿足工廠對于處理量的需要。

  掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)的對準(zhǔn)系統(tǒng):
  制造高精度的對準(zhǔn)系統(tǒng)需要具有近乎完美的精密機(jī)械工藝,這也是國產(chǎn)設(shè)備*的技術(shù)難點(diǎn)之一,許多美德品牌的設(shè)備具有特殊的機(jī)械工藝設(shè)計(jì)。
  對準(zhǔn)系統(tǒng)另外一個(gè)技術(shù)難題就是對準(zhǔn)顯微鏡。為了增強(qiáng)顯微鏡的視場,許多的設(shè)備,采用了LED照明。
  對準(zhǔn)系統(tǒng)共有兩套,具備調(diào)焦功能。主要就是由雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體、目鏡和物鏡各1對。
  CCD對準(zhǔn)系統(tǒng)作用是將掩模和樣片的對準(zhǔn)標(biāo)記放大并成像于監(jiān)視器上。
  工件臺顧名思義就是放工件的平臺,光刻工藝主要的工件就是掩模和基片。
  工件臺為掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)的一個(gè)關(guān)鍵,由掩模樣片整體運(yùn)動臺(XY)、掩模樣片相對運(yùn)動臺(XY)、轉(zhuǎn)動臺、樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)、樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)、承片臺、掩模夾、抽拉掩模臺組成。
  其中,樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)包括球座和半球。調(diào)平過程中首先對球座和半球通上壓力空氣,再通過調(diào)焦手輪,使球座、半球、樣片向上運(yùn)動,使樣片與掩模相靠而找平樣片,然后對二位三通電磁閥將球座和半球切換為真空進(jìn)行鎖緊而保持調(diào)平狀態(tài)。
  樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)由調(diào)焦手輪、杠桿機(jī)構(gòu)和上升直線導(dǎo)軌等組成,調(diào)平上升過程初步調(diào)焦,調(diào)平完成鎖緊球氣浮后,樣片和掩模之間會產(chǎn)生一定的間隙,因此必須進(jìn)行微調(diào)焦。另一方面,調(diào)平完成進(jìn)行對準(zhǔn),必須分離一定的對準(zhǔn)間隙,也需要進(jìn)行微調(diào)焦。
  抽拉掩模臺主要用于快速上下片,由燕尾導(dǎo)軌、定位擋塊和鎖緊手輪組成。
  承片臺和掩模夾是根據(jù)不同的樣片和掩模尺寸而進(jìn)行設(shè)計(jì)的。
蜜桃成人无码区免费视频网站| 妈妈的朋友在线观看| 少妇沦陷精油按摩中文字幕| 女人19水真多毛片学生| 色戒汤唯电影无删减版梁朝伟| 国产成人无码av| 69久久国产露脸精品国产| 亚洲欧美suv精品| 免费网站安全软件大全| 日本一区二区三区免费更新不卡| 他含着我的奶边摸边做| 天干天干啦夜天干天2017| 岳女四人共侍一夫婷婷| 天天狠天天透天干天天怕∴| 美艳人妻办公室抽搐呻吟| 被迫穿丁字内裤带着震蛋出门小说| 国产日产亚洲系列最新| 亚洲色在线| 精品无人国产偷自产在线| 女友去乡下玩被三个老头调教| 做床爱视频真人版无遮挡免费| 亚洲色无码a片一区二区潘甜甜| 精品爆乳一区二区三区无码av| 激烈 痉挛 抽搐 潮喷 mp4| 亚洲av无码成人精品区在线观看| 成人欧美一区二区三区在线观看| 亚洲欧美在线观看| 18无码av精品一区二区三区| 欧美在线精品一区二区三区不卡| 欢乐颂3电视剧全集免费观看| 又大又紧又爽水又多18p| 少妇特殊按摩高潮惨叫无码| 国产精品久久久亚洲偷窥女厕| 精品无码av一区二区三区不卡| 青青草97国产精品免费观看| 高h各种姿势调教1v1| 我的世界珍妮视频完整版在线观看| av无码国产精品午夜a片| 色噜噜一区二区三区| 精品人妻av一区二区三区| 色欲av|